MicroFLOW SF6 .100 Vol.-%

Schwefelhexafluorid ist als Spuren- Schutz- oder Isoliergas bis heute in vielen Anwendungen unverzichtbar. Aufgrund des hohen Treibhauseffektes von SF₆ ist der verantwortungsvolle Umgang mit dem Gas umso wichtiger. Der MicroFLOW SF6 .100 Vol.-% Sensor eignet sich für eine Vielzahl von anspruchsvollen Anwendungen, die Präzision und Zuverlässigkeit erfordern. 

ANWENDUNGSFELDER

Industrie: SF₆ wird in Plasmaätzprozessen eingesetzt, um präzise Muster auf Halbleitermaterialien wie Silizium, Siliziumdioxid und anderen Verbindungen zu erzeugen. Das Gas wird in speziellen Ätzkammern verwendet, in denen es durch Anwendung von Hochfrequenzenergie in ein Plasma umgewandelt wird. Dieses Plasma reagiert dann selektiv mit dem Material und ermöglicht das präzise Gravieren oder Entfernen von Materialien in einem sehr kontrollierten und genauen Verfahren.

Bei der Herstellung von Aluminium setzt man Schwefelhexafluorid als Tracer-Gas ein um die Effizienz des Produktionsprozesses zu verbessern und potenzielle Probleme frühzeitig zu erkennen. Des Weiteren dient es in diesem Bereich der Überwachung der Qualität und Konsistenz des Endprodukts.

Energietechnik: Im Bereich der Elektrizitätsversorgung wird SF₆ als Isoliergas und Kühlmedium in Hochspannungsschaltanlagen und Transformatoren verwendet. Die Messung von Schwefelhexafluorid ist wichtig, um Leckagen frühzeitig zu identifizieren und den Zustand der Anlagen zu überwachen. 

MESSGENAUIGKEIT

Unser NDIR Gassensor erzielt präzise Ergebnisse für die Messung und Überwachung von Schwefelhexafluorid. Durch eine 10-Punkt-Linearisierung beträgt die maximale Abweichung der gemessenen Gaskonzentration im gesamten Messbereich bis 100 Vol.-% weniger als ein Prozent. 

Der Sensor detektiert zuverlässig minimale Gaskonzentrationen um auch kleinste Änderungen im Gasgemisch zu erkennen. Sie können Ihren Anwendungsmessbereich (z. B. 90 Vol.-%) frei wählen innerhalb des gesamten Messbereichs (0 bis 100 Vol.-%). 

Messabweichungen durch Druckschwankungen oder barometrische Veränderungen werden mithilfe des Drucksensors µP.sens im Küvettenblock kompensiert (< 0,1 % / 10 hPa). Leckagen und Messwertverfälschung sind ausgeschlossen. Der Platzbedarf des Gesamtmoduls wird reduziert gegenüber vergleichbaren Sensoren durch die Integration des Drucksensors in den Küvettenblock.

Die Temperaturkompensation ist für jeden Sensor gewährleistet. Jedes Modul wird im Klimaschrank geprüft und abgeglichen, indem die Fehlerkennlinie bei der Messung mit einem Prüfgas in einer vorgegebenen Konzentration aufgenommen und korrigiert wird. Die Prüfung und Korrektur erfolgt bei Nullpunkt und Endpunkt sowie bei weiteren typischen Temperaturen im Einsatzbereich des Sensors von 5 - 45 °C. Die maximale Abweichung beträgt dabei weniger als 1 % pro 10 K.

FUNKTIONSUMFANG

Die in der Industrie am häufigsten genutzten, digitalen Schnittstellen RS232 und CAN-Bus stehen Ihnen ab Werk zur Verfügung. Für Ihre individuelle Voreinstellung können Sie die Schnittstelle mit dem passenden Zubehör und der kostenfreien Software MARS_light in wenigen Schritten konfigurieren. Folgen Sie hierfür den Anweisungen im Software-Manual.

Die Küvette ist für Schwefelhexafluorid im Messbereich von bis zu 100 Vol.-% optimiert.

Im Gegensatz zu herkömmlichen Sensoren ermöglicht unser Sensor Messungen in einem weiten Druckbereich von 300 - 1200 hPa. Dies eröffnet Ihnen ein erweitertes Anwendungsspektrum, z. B. für Anwendungen in höheren geographischen Lagen oder für Systeme, die mit Unterdruck arbeiten.

LEBENSDAUER

Die Gasanschlüsseblöcke aus eloxiertem Aluminium gewährleisten eine lange Lebensdauer und Zuverlässigkeit in herausfordernden Umgebungsbedingungen. Die Gasanschlüsse aus Edelstahl verbessern die Langlebigkeit zusätzlich. 

Die Tests in der Klimakammer im Betriebstemperaturbereich schließen frühzeitige Ausfälle der Komponenten aus.

INSTALLATION UND BETRIEB 

Die speziell für die Gassensoren entwickelte Software MARS light können Sie kostenfrei herunterladen. Hiermit ist Ihr Gassensor sofort einsatzbereit. Sie müssen für erste Testmessungen keine eigene Software entwickeln und sparen wertvolle Zeit in Ihrem Projekt. Der Sensor benötigt eine geringe Eingangsleistung von weniger als 1 Watt aus. Dies ermöglicht den Einsatz in batteriebetriebenen Geräten. Eine einfache Integration in die meisten bestehenden Systeme wird durch der weiten Spannungsbereich von 9 bis 30 Volt ermöglicht.

Je nach Bedarf müssen Gase für die Analyse manchmal vorgekühlt oder erwärmt werden. Durch Überwachung der Gastemperatur im Messsystem können mögliche Kondensationseffekte des Gases in der Küvette verhindert werden.  

Im Gegensatz zu vielen vergleichbaren Produkten kann die Reinigung und eventuelle Wartung durch den modularen Aufbau einfach durchgeführt werden.

In der Bedienungsanleitung finden Sie alle Informationen zur Inbetriebnahme und zum Betrieb.

Unser Datenblatt fasst die wichtigsten technischen Details kurz zusammen. Wir beraten Sie gern bei Ihren individuellen Fragen und Anforderungen.